基于PDMS的微流控芯片封装技术研究
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作者:
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中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,电子测试技术重点实验室,中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室

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中图分类号:

TH706

基金项目:

国家自然科学基金项目(面上项目)


Research of bonding method of microfluidic chip based on PDMS
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Fund Project:

The National Natural Science Foundation of China (General Program, Key Program, Major Research Plan)

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    摘要:

    本文提出一种优化的PDMS(聚二甲基硅氧烷)—PDMS键合技术,对PDMS基片与PDMS盖片使用不同的预聚物和固化剂配比进行键合。设置了按不同比例键合、氧气等离子体表面处理键合及涂覆液态PDMS键合这三种方法的对比实验,并将其应用于微流控芯片的封装测试。测试结果表明,不同比例键合后的芯片键合强度适宜,可重复利用,高效节能。键合参数:基片和盖片所用预聚体、固化剂质量比分别为10:1和15:1;盖片的固化温度75℃,固化时间40min。

    Abstract:

    A optimization of PDMS(polydimethylsiloxane)-PDMS bonding technology has been proposed in this paper, PDMS substrate and cover plate has been bonded by adopting different ratio of prepolymers and curing agent.Three methods of contrast experiment has been set in this paper with different cross-linking ratios bonding, oxygen plasma treatment bonding and coating liquid PDMS bonding.Finally,they are applied to microfluidic chip encapsulation testing. The results show that ,after natural bonding,chip has a appropriate strength ,which are reusable, high-efficiency and energy saving. The bonding parameters are as follows: the mass ratio of prepolymers and curing agent used for PDMS substrate and cover sheet is 10:1 and 15:1 respectively. Curing temperature of cover plate is 75 ℃ and the curing time it cost is 40 min.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

毛静,张斌珍,杨潞霞,等. 基于PDMS的微流控芯片封装技术研究[J]. 科学技术与工程, 2015, 15(1): .
MAO Jing,,YANG Lu-xia, et al. Research of bonding method of microfluidic chip based on PDMS[J]. Science Technology and Engineering,2015,15(1).

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  • 收稿日期:2014-07-01
  • 最后修改日期:2014-08-19
  • 录用日期:2014-09-04
  • 在线发布日期: 2014-12-31
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